广发证券--半导体行业设备研究系列十一：7-8月国产半导体设备中标数据亮眼，国产设备持续向好【行业研究】

研究报告之久

【研究报告内容摘要】
            
                    7-8月半导体设备招标数据梳理。长江存储、华力集成（华虹集团Fab6厂）、华虹无锡（华虹集团Fab7厂）、晶合集成、积塔半导体、中芯国际绍兴等重要产线均有通过公开招标的方式选择半导体设备供应商，根据中国招标网的统计，7-8月国产设备中标集中在长江存储、华力集成和积塔半导体三条产线，具体中标结果如下：长江存储：中微半导体中标11台刻蚀设备；盛美半导体中标5台清洗设备；上海精测中标3台膜厚测量设备；华海清科中标8台研磨抛光设备；同时沈阳拓荆和屹唐半导体也有设备中标。
            
                    华力集成：中微半导体中标1台介质刻蚀和1台硅刻蚀设备（这台硅刻蚀设备是继2018年8月首次中标华力集成硅刻蚀设备订单后的第二台）；北方华创中标2台PVD和1台退火炉；盛美半导体中标4台清洗设备和1台氧化炉；华海清科中标1台研磨抛光设备；沈阳拓荆中标1台CVD设备；屹唐半导体中标1台去胶设备。积塔半导体：北方华创中标2台硅刻蚀设备、1台PVD、5台炉管设备和1台清洗设备；盛美半导体中标1台清洗设备；芯源微中标1台涂胶显影机和1台清洗设备；华海清科中标3台研磨抛光设备；沈阳拓荆中标7台CVD设备；上海微电子中标1台光刻机；上海睿励中标1台膜厚测量设备；中科信中标1台离子注入机。
            
                    另外，晶合集成中微半导体中标1台刻蚀设备，燕东微电子至纯科技中标4台槽式清洗设备。
            
                    中国大陆晶圆厂持续扩张，设备行业景气度边际加速。长江存储继7月份中标了10台ASML的光刻机后，开启了新一轮的招标，8月份已经开始密集中标流程，为明年一期产能的扩张做准备；同时长存二期此前6月宣布开工建设，整体进程加速；中芯国际14nm产线继续保持原先规划产能，同时7月底宣布拟投资76亿美元建设月产能10万片的28nm晶圆产线，均体现行业景气度边际向好，持续改善。
            
                    国产替代边际加速，国产半导体设备迎来发展机遇。从7-8月份的中标数据可以看出，国产设备替代进程良好，一方面中标设备的数量较多（例如中微此前在长江存储截止至2020年6月底中标的介质刻蚀设备累计数是38台，而此次8月中标台数就已经达到了11台之多），另一方面品类持续扩张（例如中微的硅刻蚀获得了华力集成的重复订单），替代程度有望持续超出预期。整体国产设备在下游国内晶圆产线的份额中也有望进一步提升。投资建议：当前时点建议持续关注半导体设备的投资机会。建议关注持续受益于中国大陆晶圆产险持续扩产的现有与潜在国产设备供应商北方华创、中微公司、盛美股份、万业企业、至纯科技、华峰测控、芯源微等。
            
                    风险提示：中国大陆晶圆厂建厂与良率爬坡不及预期风险；国产设备技术突破与订单进度不及预期风险。
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