中银国际证券--半导体设备行业国产化专题三:从长江存储的设备采购数据,看国产工艺及测试设备在3D Nand产能建设的机遇与潜力-190610【行业研究】

研究报告之久

【研究报告内容摘要】
            
                    据 DRAMeXchange 报道,长江存储器基地一期已实现量产,一季度产能达到 5000片/月,今年有 3D NAND 的大规模生产计划,表明长江存储正从研发走向量产产能扩张。从中国国际招标网数据显示,2019年国产设备在长江存储的中标数量大幅增加,尤其是中微的刻蚀设备、盛美的清洗设备、北方华创的热处理和 PVD 来自长江存储的订单显著增加,而沈阳拓荆的 CVD、华海清科的 CMP 也已首次从长江存储获得订单。
            
                    长江存储的工艺设备采购计划集中释放,产能将快速扩张。
            
                    DRAMeXchange 显示,长江存储项目总投资 240亿美元,将新建月产能为30万片的 3D Nand 生产线,相当于 1万片/月产能对应投资 8亿美元。
            
                    长江存储武汉基地一期,已实现 32层 64Gb 3D NAND Flash 小规模量产,今年第一季度产能达到 5000片/月;
            
                    今年以来,长江存储设备采购数量和密集度都很大,国产 3D NAND 将从研发走向大规模生产。
            
                    长江存储对 CVD、刻蚀设备的采购数量最多,比例明显增加。
            
                    根据中国国际招标网数据统计,截至目前,该项目工艺设备已采购 1166台工艺设备,包括光刻机 19台,刻蚀设备 165台,CVD260台,清洗设备 67台、离子注入机 26台,PVD17台,CMP34台,量测设备 432台,还有热处理设备 91台,涂胶显影设备 26台、去胶设备 24台,镀铜设备5台。与华力二期相比,CVD、刻蚀设备的采购数量比例明显增加。
            
                    总体国产设备中标的数量占比 8%,剔除量测口径下国产化率 12%,与华力二期基本相当,但低于华虹无锡项目的设备国产化率。
            
                    该产线总体国产设备中标 91台,国产化率为 8%,不包含量测设备口径下的国产化率为 12%,相同口径下华力二期的国产化率依次是 8%、12.5%,华虹无锡项目国产化率依次是 14%、21%。
            
                    各类关键工艺设备国产化差异大,CMP、PVD、刻蚀、清洗设备、热处理的国产化率处于 10%-30%,而 CVD 国产化率仅 1%,量测、光刻、离子注入机、涂胶显影、镀铜设备全部依赖进口。
            
                    CMP、PVD、刻蚀、清洗设备、热处理等的国产化率依次是 12%、18%、18%、22%、30%,去胶设备国产化率 38%(由 Mattso供应);
            
                    CVD 设备:招标 260台,国产设备沈阳拓荆中标 3台,国产化率仅为 1%;
            
                    离子注入机、涂胶显影、镀铜设备、量测、光刻尚无国产设备进入该产线,100%依赖于进口品牌。
            
                    北方华创、中微、盛美引领工艺设备国产化,拓荆、华海清科也将进入长江存储产线。
            
                    长江存储产线上,北方华创累计中标 33台工艺设备,中微半导体中标21台刻蚀设备,盛美中标 13台清洗设备,华海清科中标 4台 CMP 设备,沈阳拓荆中标 3台 CVD 设备,Mattso中标 7台去胶设备、3台退火设备和 1台刻蚀设备,合计 91台设备。
            
                    投资建议:继续看好半导体设备行业从长江存储设备采购数据看,CVD、刻蚀设备弹性大,成长性好于其他设备类别,且中微、拓荆、北方华创显著受益,盛美清洗设备也获得重复批量订单,继续看好半导体设备行业,强烈推荐北方华创、精测电子、晶盛机电,建议关注盛美半导体、长川科技。
            
                    风险因素:中国大陆存储厂商投产延缓全球存储芯片周期复苏;中美贸易战继续影响全球经济健康发展。
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